Semitron®MPR1000 Pai

SEMITRON®MPR1000シェイプは、プラズマチャンバーの優れた耐熱性と低い速度と侵食の割合を持っています。イオン含有量が少ないこの高純度材料は、半導体およびエレクトロニクス産業のエッチング、CVD、およびイオンインプラントサブセグメンテーション内の真空チャンバーアプリケーションにしばしば選択されます。

Semitron®MPR1000は、たとえばオゾンのポリイミドよりも最大25倍の従来の材料よりも寿命の増加を示しています。寿命により、石英、セラミック、ポリイミド、その他のエンジニアリングプラスチックなどの真空チャンバーアプリケーションで使用される従来の材料に対して指定されています。

材料特性

低イオン含有量と低いアウトガス

優れた耐熱性

プラズマチャンバーの侵食速度が最小化されました

最適なチップ抵抗、耐久性、および機密性

要求の厳しいチャンバーアプリケーションのために特別に設計されています

アプリケーション：プラズマベースの真空チャンバー、クランプリング、トレンチリング、ネジ、ピン、シャワーヘッド、フォーカスリング、絶縁体、真空パッド

Semitron®について

Semitron®半導体グレードの製品は、デバイスの製造機器のパフォーマンスを最適化するのに役立つように開発されました。デバイスの製造に加えて、これらの材料の多くは、耐摩耗性、化学耐性、静電気の管理が必要な特定の環境に最適です。

2つのグループの製品が開発されました。 1つは、デバイスの取り扱いおよびテストアプリケーションに適しており、次世代のCMP、プラズマ、エッチングチャンバーアプリケーションに2番目に適しています。

Semitronグレードは、シート、ロッド（いくつかの製剤）、機械加工部品で利用できます。