Semitron®CMPXL20-耐性パイ
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最小注文数: | 1 Kilogram |
輸送方法: | Ocean,Land,Air,Express |
ポート: | Shenzhen,Guangzhou,Hongkong |
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モデル: Semitron® CMP XL20
ブランド: セミトロン
販売単位 | : | Kilogram |
パッケージ型式 | : | エクスポートパッケージ |
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Semitron®CMPXL20は、独自のポリアミド塩基樹脂から開発され、すべてのCMP化学環境で標準PPの20倍以上の寿命を提供します。この素材には、摩耗の寿命と機械的強度と剛性の最良の組み合わせがあり、最も要求の厳しいアプリケーションと極端なプロセス環境に最適です。
材料特性
高強度と剛性は、エッジの欠陥が少なくなり、均一性が向上します
良好な化学的およびクリープ抵抗
優れたウェアライフ
寸法的に安定しています
ほとんどのプロセスでは、PPSを最大20倍上回ります
利用可能なジオメトリ
SEMITRON®CMPXL20 PAIストックシェイプは、次のジオメトリのさまざまな標準サイズを網羅しています:ロッド、プレート
利用可能な色
SEMITRON®CMPXL20 PAIストックシェイプは次の色で提供されます:緑
キープロパティ
ウェーハあたりのコストが大幅に低くなります
ほとんどのプロセスでは、PPSを最大20倍上回ります
高強度と剛性は、エッジの欠陥が少なくなり、均一性が向上します
アプリケーション
CMP保持リング
Semitron®CMPXL20 PAIの典型的な特性
Description | Value | ||
Material Type | Imidized Amorphous Thermoplastic | ||
Chemical Name | PAI Polyamide-imide | ||
Trade Name | Semitron® CMP XL20 | ||
Color | Black Green Hue | ||
Manufacturer | Quadrant | ||
PHYSICAL | |||
Property | Test | Unit of Measure | Value |
Density | ASTM D792 | g/cm³ | 1.41 |
ASTM D792 | lb/in³ | 0.051 | |
Water Absorption, 24 hrs, Immersion | ASTM D570 | % by wt. | 0.4 |
Water Absorption, Saturation, Immersion | ASTM D570 | % by wt. | 1.7 |
MECHANICAL | |||
Property | Test | Unit of Measure | Value |
Tensile Strength | ASTM D638 | psi | 18,000 |
Tensile Modulus | ASTM D638 | psi | 600,000 |
Tensile Elongation at Break | % | 10 | |
Flexural Strength | ASTM D790 | psi | 24,000 |
Flexural Modulus | ASTM D790 | psi | 600,000 |
Compressive Strength | ASTM D695 | psi | 24,000 |
Compressive Modulus | ASTM D695 | psi | 478,000 |
Hardness | ASTM D785 | NA | Rockwell E80 / M120 |
IZOD Impact-Notched | ASTM D256 | ft-lb/in | 2 |
Dynamic Coefficient of Friction | - | NA | 0.35 |
Wear K Factor | - | in³-min/ft-lbs-hr | 50 |
Limiting PV | - | psi-fpm | 12,500 |
THERMAL | |||
Property | Test | Unit of Measure | Value |
Coefficient of Linear Thermal Expansion | ASTM D696 | x 10-5 in./in./°F | 1.7 |
Heat Deflection Temp | ASTM D648 | °C at 264 psi | 278 |
ASTM D648 | °F at 264 psi | 532 | |
Max Continuous Operating Temp | °C | 260 | |
°F | 500 | ||
Minimum Operating Temp | °C | -200 | |
°F | -328 | ||
Thermal Conductivity | ASTM C117 | BTU-in/ft²-hr-°F | 1.8 |
Flammability Rating | UL94 | NA | V-0 |
ELECTRICAL | |||
Property | Test | Unit of Measure | Value |
Dielectric Strength | ASTM D149 | V/mil | 580 |
Dielectric Constant at 1 MHz | ASTM D150 | NA | 4.2 |
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