QuadrantのTechTron HPV PPS円筒形のロッドは、半導体機器のコストを削減します

July 17, 2023

QuadrantのTechTron PPSはパフォーマンスを最適化し、半導体機器の製造のコストを削減します
Techtron HPV PPS Cylindrical Rod

その中で、QEPPのTechtron PPSは、化学機械的平面化（CMP）操作で使用されるリングを保持するための業界標準材料です。 CMPプロセスは、研磨化学活性のスラリーを使用して、部分的に処理されたウェーハの微小動態を平らにし、その後のプロセスが平らな表面から開始できるようにします。 PPS保持リングは、CMPプロセス中にウェーハを所定の位置に保ち、ウェーハは研磨化学物質とストレスに繰り返しさらされ、定期的に交換する必要があります。

TechTron PPSから作られたリングを保持すると、緊密な寸法制御、優れた耐薬品性、高強度、およびスラリーに対する良好な耐摩耗性が得られ、CMP機器ユーザーの消耗品コストが最小限に抑えられます。

TechTron PPS材料は、在庫形状で利用できます。優れた寸法の安定性と低い残留応力を備えており、非常にタイトな許容範囲で非常にフラットに機械加工できるようにします。しかし、最も重要なことは、それはフレークではないということです。つまり、研磨型の取り扱いアプリケーションで顕著な微粒子を生成しません。

QEPPの機械加工可能なプラスチックは、半導体デバイスの製造に使用される多くのプロセスとツールで一般的に使用される備品です。機器メーカーとのパートナーシップを通じて、Quadrantは、半導体デバイスの製造に重要なパフォーマンス品質を提供するさまざまなプラスチック材料と空白の形を開発しました。これらの品質には、制御された静的散逸、低い膨張係数、高強度、熱および化学耐性が含まれます。さらに、機械加工用のQuadrantの空白の形状は、非lakingなプラスチックで作られており、ウェーハと半導体デバイスを処理する備品、およびハードドライブの製造およびアセンブリプロセスで使用されるコンポーネントに最適です。

Ertalon®、Nylatron®、Ertacetal®、Ertalyte®、Cestidur®、Techtron®、Ketron®、Fluorosint®、Semitron®は、Quadrantグループの登録商標です。

Dark blue 25mm rod(1)