半導体フィールドでの高性能エンジニアリングプラスチックピーク/PPSの適用

February 10, 2023

半導体フィールドでの高性能エンジニアリングプラスチックピーク/PPSの適用

半導体製造プロセス全体で、プラスチックの役割は、主にパッケージングと送信、さまざまな処理プロセスの接続、汚染と損傷の防止、汚染防止の最適化、主要な半導体製造プロセスの収量の改善です。使用されるプラスチック材料には、PEEK、PPS、PP、ABS、PVC、PBT、PC、Fluoroplastics、PAI、COPなどが含まれます。半導体技術の継続的な開発により、材料のパフォーマンス要件もますます高くなっています。

1. CMP保持リング

化学機械的研磨（CMP）は、ウェーハ生産プロセスにおける重要なプロセス技術です。研削プロセス中、CMP保持リングを使用して、ウェーハとウェーハを固定します。選択された材料は、耐摩耗性、寸法安定性、耐薬品性、簡単な加工、およびウェーハ/丸い表面の傷や汚染を避ける必要があります。
CMP保持リングは、研削中にチップを保持するために使用されます。選択した材料は、チップ表面の傷や汚染を避ける必要があります。通常、標準的なポリフェニレン硫化物でできています。
ピークは、高次元の安定性、簡単な加工性、優れた機械的特性、良好な化学腐食抵抗、良好な耐摩耗性を備えています。 PPSリングと比較して、Peekで作られたCMP保持リングは耐摩耗性が強く、サービス寿命が2倍になり、ダウンタイムが減少し、ChIPの収量が増加します。
材料：ピーク、ポリフェニレン硫化物

2.ウェーハキャリア

ウェーハキャリアは、ウェーハキャリアボックス、ウェーハトランスファーボックス、ウェーハボートなどのウェーハをロードするために使用されます。ウェーハが配送ボックスに保存されるのは、生産プロセス全体の大部分を占めており、ウェーハボックス自体の材料、品質、清潔さは、ウェーハの品質に大きな影響を与える可能性があります。
ウェーハキャリアは一般に、高温抵抗、優れた機械的特性、寸法安定性、耐久性、アンティスティック、低いアウトガス、低降水、リサイクル可能な材料を使用します。 PEEKは、一般的な輸送プロセスのキャリアを作成するために使用できます。通常、帯電防止が使用されています。 Peekには、耐摩耗性、耐薬品性、寸法の安定性、骨stat抗および低いアウトガスなど、多くの優れた特性があり、粒子の汚染を防ぐのに役立ちます。チップ処理、保管、転送の信頼性を向上させます。
材料には、PEEK、PFA、PP、PES、PC、PEI、COPなど、一般的には帯電防止後のものが含まれます

3.マスクボックス

フォトマスクは、チップ製造のフォトリソグラフィプロセスで使用されるパターンマスターです。それは石英ガラスに基づいており、光をブロックするためにクロム金属でコーティングされています。曝露の原理を使用して、光源はフォトマスクを介してシリコンウェーハに投影され、特定のパターンを露出および表示します。フォトマスクに付着したほこりや傷は、予測された画像の品質を低下させます。したがって、フォトマスクの汚染を避け、衝撃や摩擦によって生成された粒子がフォトマスクの清潔さに影響を与えるのを防ぐ必要があります。
曇り、摩擦、または変位によるフォトマスクの損傷を避けるために、フォトマスクポッドは一般に、骨の折れた、低い外出、耐久性のある材料で作られています。
Peekには、硬度が高く、粒子が非常に少ない、清潔さが非常に少ない、酸素耐性、化学腐食抵抗、耐摩耗性、加水分解抵抗、良好な誘電強度、良好な放射線抵抗の特性があります。また、レチクル処理中、レチクルチップは、低いイオン汚染が低い環境に保存できます。
材料：抗静止ピーク、抗静止PCなど。

4.ウェーハツール

ウェーハクランプ、真空吸引ペンなど、ウェーハまたはシリコンウェーハをクランプするためのツールは、ウェーハの表面を傷つけず、残留物がなく、ウェーハ表面の清潔さの完全性を確保するために、ウェーハのクランプをクランプするとき、
Peekには、高温抵抗、耐摩耗性、良好な寸法安定性、低い速度、および良好な吸湿性の特性があります。ピークウェーハクランプでウェーハとウェーハをクランプすると、ウェーハまたはウェーハの表面に傷がありません。スクラッチは、摩擦のためにウェーハやウェーハの残留物を引き起こしません。ウェーハとウェーハの表面の清潔さを改善します。
素材：ピーク

5.半導体パッケージテストソケット

テストソケットは、各半導体コンポーネントの直接回路をテスト機器に電気的に接続するデバイスです。さまざまなテストソケットを使用して、ICデザイナーに固有のさまざまなマイクロチップをテストします。テストソケットに使用される材料は、良好な寸法安定性、高い機械的強度、バリの形成の減少、良好な耐久性、広い温度範囲、および簡単な処理の要件を満たす必要があります。
素材：Peek、PPS、PAI、PI、PEI