SemiconductorTecapeek®CMPナチュラルのピーク

Tecapeek CMP Naturalは、CMP保持リングアプリケーション向けに特別に開発され、半導体業界向けのEnsingerのポートフォリオの一部です。 Victrex®PeekPolymerに基づいた充填されていないPeekプラスチック（ポリエーテルエーテルケトン）材料です。CMP保持リングに機械加工された場合、特別なピーク材料特性により、標準的なピークプラスチックと比較して、より少ない内側の溝の着用（サイドアタックとも呼ばれます）が有意に減少します。ウェーハ欠陥のリスク。 CMP保持リング材料の中で、Tecapeek CMPは、最高の耐摩耗性と摩擦特性、機械的特性、寸法の安定性、および温度抵抗を提供するため、最長のリング寿命が可能になります。

ピークプラスチックの耐摩耗性はPPSの耐摩耗性よりも3倍優れているため、Tecapeek CMP Naturalは競合他社のPeek製品よりも20％優れた耐摩耗性を持っているため、サービス生活の面では明確な利点があります。

一般に、CMP消耗品は、最短の寿命、通常はパッドの倍数で変更されます。その結果、リングの交換タイミングは、多くの場合、パッド「ピットストップ」に整合します。たとえば、特定の条件下では、PPSリングは約4つのパッドの変更を続けることができ、標準的なピークリングは最大12パッドの変更を続ける可能性があり、Tecapeek CMPリングは最大14パッドの変更を続ける可能性があります。これは、リングの為替レートと所有権の総コストに大きな好ましい影響を与えます。

材料特性の最適化に加えて、Ensingerは、CMP保持リングの典型的なサイズに適した特別なチューブサイズを開発したため、機械加工中に廃棄物とコストを削減できます。たとえば、OD 350 mm / ID 300 mmでチューブサイズを使用すると、従来のOD 360 / ID 290 mmと比較して最大27％の材料コスト削減が可能になります。

すべてのEnsinger半導体グレードと同様に、Tecapeek CMPナチュラルチューブは、産業用のPeekグレードと比較して、半導体コピーの正確な要件（Copy ExactまたはCEとも呼ばれます）およびより厳しい品質管理に準拠して処理されます。追加の品質制御と測定により、不純物のリスクが低下し、標準的な産業のピークプラスチックと比較して内部ストレスと寸法の安定性が向上する可能性があります。 Tecapeek CMP Naturalは、電気機器の危険物質のROHS指令2011/65/EU制限によって課される制限を満たしていることを確認でき、リクエストに応じてさらに適合宣言を提供することもできます。

より低い材料コストを必要とするCMP保持リングの場合、より低い寿命を利用できる場合、EnsingerはPPSバージョンを提供します - Tecatron CMP Naturalを提供します。この特別なプロパティプロファイルを必要としない他の半導体アプリケーションの場合、Ensingerは、より費用効率の高い半導体グレードのピークバージョンをプレート、ロッド、チューブとして提供します。TecapeekSXNatural。

事実

化学指定

ピーク（ポリエーテルケトン）

色

ベージュ

密度

1.31 g/cm3

主な特徴

良好な熱偏向温度

優れた機械性

固有の難燃剤

加水分解と過熱蒸気耐性

高いタフネス

高エネルギー放射に対する耐性

優れたスライドと摩耗プロパティ

高いクリープ抵抗

ターゲット産業

半導体技術

Tecapeek®CMP自然技術データシート